理工学研究科 大谷 あすか

多結晶ダイヤモンド工具による単結晶シリコンの切削加工特性

超精密切削では、工具刃先が常に高温・高圧環境にさらされながら、被削材をせん断変形させています。このような過酷な条件下で安定した加工を維持することは極めて難しく、工具の変形や破損をいかに抑制するかが重要な課題です。本研究では、加工環境や加工条件の工夫に加え、工具摩耗のメカニズムの解明によって、長時間にわたり刃先形状を維持するための指針を明らかにし、製造技術の発展に貢献したいと考えています。